BUSCH Dry Screw Vacuum Pumps COBRA DS COBRA DS dry screw vacuum pumps are the ideal vacuum generators for demanding processes. Even under conditions in which a high hydrogen throughput is required. They are therefore perfectly suited for chemical vapor deposition, rapid thermal processing or atomic layer deposition.
ปั๊มสุญญากาศแบบสกรู แบบไม่ใช้น้ำมัน BUSCH COBRA DS เป็นเครื่องกำเนิดสุญญากาศในอุดมคติสำหรับกระบวนการต้องการประสิทธิภาพ แม้ในสภาวะที่ต้องการปริมาณไฮโดรเจนสูง ดังนั้นจึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสะสมของไอสารเคมี การแปรรูปด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว หรือการสะสมของชั้นอะตอม
BUSCH COBRA DS series ขนาดต่างๆ มีบูสเตอร์สุญญากาศประสิทธิภาพสูงในตัว การผสมผสานระหว่างปั๊มสำรองและบูสเตอร์สุญญากาศช่วยให้ได้ความเร็วที่เพิ่มขึ้นและแรงดันสูงสุด
การออกแบบสกรูแบบสมดุลในตัวเองที่ได้รับการจดสิทธิบัตรช่วยให้มั่นใจได้ถึงการจัดการฝุ่นละอองที่ยอดเยี่ยม
สกรูของปั๊มสุญญากาศ COBRA DS ผลิตขึ้นจากการหล่อชิ้นเดียวโดยไม่ให้มีช่องว่าง ทำให้ของเหลวหรืออนุภาคไม่สามรถเข้าสู่กระบวนการผลิตได้ ดังนั้นจึงป้องกันการกัดกร่อนได้ที่
ปั๊มสุญญากาศ COBRA DS ใช้การระบายความร้อนด้วยน้ำอย่างมีประสิทธิภาพ เป็นผลให้สามารถควบคุมการกระจายอุณหภูมิทั่วตัวปั๊มได้เนื่องจากการออกแบบให้พอดี ทำให้ COBRA DS สามารถติดตั้งเพิ่มเติมกับระบบที่มีอยู่ได้อย่างง่ายดายและรวดเร็ว
อุตสาหกรรมผลิตจอมอนิเตอร์
Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
Load lock chambers
Organic light-emitting diode (OLED)
Physical vapor deposition (PVD)
อุตสาหกรรมผลิตแบตเตอรี่ ลิเธียมไอออน
ไล่แก๊ส
อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์
Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
